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截至2025年9月9日 10:41，上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)(950125)下跌2.29%。成分股方面，中芯國際(688981)領(lǐng)跌8.09%，晶升股份(688478)下跌5.70%，京儀裝備(688652)下跌4.78%，天岳先進(688234)下跌3.40%，芯源微(688037)下跌3.20%?？苿?chuàng)半導體ETF(588170)下跌2.11%，最新報價1.16元。拉長時間看，截至2025年9月8日，科創(chuàng)半導體ETF近1月累計上漲12.30%，漲幅排名可比基金1/3。

流動性方面，科創(chuàng)半導體ETF盤中換手5.7%，成交3154.60萬元。拉長時間看，截至9月8日，科創(chuàng)半導體ETF近1月日均成交1.08億元，居可比基金第一。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF最新規(guī)模達5.65億元，創(chuàng)成立以來新高，位居可比基金1/3。

份額方面，科創(chuàng)半導體ETF最新份額達4.75億份，創(chuàng)近3月新高，位居可比基金1/3。

從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF近7天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得4155.78萬元凈流入，合計“吸金”1.21億元，日均凈流入達1729.13萬元。

從收益能力看，截至2025年9月8日，科創(chuàng)半導體ETF自成立以來，最高單月回報為15.29%，最長連漲月數(shù)為3個月，最長連漲漲幅為28.57%，漲跌月數(shù)比為3/2，上漲月份平均收益率為8.85%，月盈利百分比為60.00%，月盈利概率為64.89%，歷史持有3個月盈利概率為100.00%。

回撤方面，截至2025年9月8日，科創(chuàng)半導體ETF成立以來相對基準回撤0.21%。

費率方面，科創(chuàng)半導體ETF管理費率為0.50%，托管費率為0.10%，費率在可比基金中最低。

跟蹤精度方面，截至2025年9月8日，科創(chuàng)半導體ETF近1月跟蹤誤差為0.006%，在可比基金中跟蹤精度最高。

科創(chuàng)半導體ETF緊密跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)，上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)選取科創(chuàng)板內(nèi)業(yè)務(wù)涉及半導體材料和半導體設(shè)備等領(lǐng)域的上市公司證券作為指數(shù)樣本，以反映科創(chuàng)板半導體材料和設(shè)備上市公司證券的整體表現(xiàn)。

數(shù)據(jù)顯示，截至2025年8月29日，上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)(950125)前十大權(quán)重股分別為華海清科(688120)、中微公司(688012)、滬硅產(chǎn)業(yè)(688126)、拓荊科技(688072)、中科飛測(688361)、安集科技(688019)、芯源微(688037)、華峰測控(688200)、盛美上海(688082)、天岳先進(688234)，前十大權(quán)重股合計占比71.5%。

科創(chuàng)半導體ETF(588170)，場外聯(lián)接(華夏上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題ETF發(fā)起式聯(lián)接A：024417；華夏上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題ETF發(fā)起式聯(lián)接C：024418)。